CIF中試型等離子清洗機(jī)CPC-10系列
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CIF推出全新一代 CPC-10系列實(shí)驗(yàn)室型等離子體清洗設(shè)備， 顛覆傳統(tǒng)等離子體清洗設(shè)備設(shè)計(jì)理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積， 使用成本低， 性價(jià)比高， 處理快速高效， 特別適合于大學(xué)， 科研院所和光電企業(yè)實(shí)驗(yàn)室小批量中試生產(chǎn)。
更新時(shí)間：2024-03-26 16:17:31
產(chǎn)品特點(diǎn)：
◆ ?7 寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面，自動(dòng)控制監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)，20 個(gè)配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)追溯。
◆ ?PLC 工控機(jī)控制整個(gè)清洗過程，手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。
◆ ?石英真空艙，真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。
◆ ?采用質(zhì)量流量計(jì)，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸入精準(zhǔn)控制，改變傳統(tǒng)浮子流量計(jì)控制氣體流量不準(zhǔn)確問題。
◆ ?HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。
◆ ?60 度傾角操作界面設(shè)計(jì)，符合人體功能學(xué)，操作方便，界面友好。
◆ ?頂置真空艙，上開蓋設(shè)計(jì)，下壓式鉸鏈開關(guān)方式，開關(guān)蓋方便。
◆ ?采用花灑式多孔進(jìn)氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題。
◆ ?上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設(shè)計(jì)，符合人體功能學(xué)，操作更方便。
◆ ?有效清洗面積大，可清洗最大直徑 8 吋硅片。
◆ ?安全保護(hù)，艙門打開，自動(dòng)關(guān)閉電源。
技術(shù)參數(shù)：
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型號(hào) | CPC-10 | CPC-10plus | CPC-10M | CPC-10Mplus |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
射頻功率 | 0-600W | 0-300W | 0-600W | 0-300W |
匹配器 | 自動(dòng)匹配 | 自動(dòng)匹配 | ||
激發(fā)方式 | 電容式 | 電容式 | ||
氣體控制 | 雙浮子流量計(jì) | 單路 MFC（可選兩路） | ||
艙體尺寸 | L300xΦ215mm | L300xΦ215mm | ||
艙體容積 | 10.8L | 10.8L | ||
艙體材質(zhì) | 不銹鋼 | 不銹鋼 | ||
有效處理尺寸 | L300xW215mm | L300xW215mm | ||
時(shí)間設(shè)定 | 9999 秒 | 9999 秒 | ||
| 抽速 8m3/h | 抽速 8m3/h | ||
氣體穩(wěn)定時(shí)間 | 1 分鐘 | 1 分鐘 | ||
真空度 | 100pa?以內(nèi) | 100pa?以內(nèi) | ||
電???源 | AC220V 50/60Hz ?766/466W | AC220V 50/60Hz ?752/452W | ||
產(chǎn)品尺寸 | L645xW550xH495mm | L645xW550xH495mm | ||
包裝尺寸 | L750xW700xH720mm | L750xW700xH720mm | ||
整機(jī)重量 | 55kg | 55kg | ||
