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12寸晶圓顯影機

    UNIXX DB30 型晶圓顯影機是一款針對12寸及以下尺寸晶圓的半自動系統(tǒng),系統(tǒng)可集成顯影,清洗,干燥等模塊,同時可用于方片顯影,最大尺寸230mm*230mm。

    更新時間:2022-11-25 17:19:14
  1. 詳細信息

產(chǎn)品簡介

 

UNIXX DB30 型晶圓顯影機是一款針對12寸及以下尺寸晶圓的半自動系統(tǒng),系統(tǒng)可集成顯影,清洗,干燥等模塊,同時可用于方片顯影,最大尺寸230mm*230mm。

 

n產(chǎn)品特色

 

÷ 適用先進的顯影、清洗和干燥工藝

÷ 圓形晶圓最大可達 ?300 

÷ 方形襯底最大可達 230 x 230 

÷ 防濺環(huán)自動升降

÷ 具有 BSR 背部清洗功能

÷ 配置低接觸離心力卡盤

÷ 可提供全自動系統(tǒng)

÷ 手動裝/

÷ 適用所有半導體材料,如硅襯底、玻璃襯底、陶瓷襯底

÷  1x 輸送臂,最多 6 條管路

÷ 不同類型的噴嘴

÷ 通過壓力罐或泵系統(tǒng)供應(yīng)化學液

÷ 具有擺動效果的旋轉(zhuǎn)電機

÷ 不同化學液分離排放(1、 3 向分離)

 

n技術(shù)數(shù)據(jù)

 

÷ 襯底尺寸最大可達 ?200 mm   150 x 150 mm 

÷ 電機轉(zhuǎn)速最大 10.000 rpm,步長 1 rpm

÷ 電機加速最大 40.000 rpm/sec步長 1 rpm/sec 

÷  步進時間: 1  999.9 秒,步長 0.1 

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