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勻膠機不是簡單的均勻涂抹的機器

勻膠機是一種常見用于材料薄膜制備工藝的實驗室設備,它的原理相對比較簡單,利用電機高速旋轉(zhuǎn)時所產(chǎn)生的離心力使得試液或者膠液均勻地涂敷在基底材料的表面,可以“讓膠液均勻涂敷的機器”。

勻膠機有很多稱謂,勻膠臺,旋轉(zhuǎn)涂膜機,旋轉(zhuǎn)涂層機或者旋轉(zhuǎn)涂敷機等等,它的英文是 Spin Coater(旋轉(zhuǎn)涂膜的意思)。勻膠機既然是科研開發(fā)上制備薄膜材料的方法之一,使用者對于該設備期待就在于其能夠“均勻”地涂敷試液或者膠液。


通常我們會用均一性和可重復性來衡量薄膜材料制備的好壞。國內(nèi)外對于這種勻膠旋涂設備的發(fā)展呈現(xiàn)出很大的差距。中國先開展勻膠機研制的單位是中科院微電子所,推出的KW-4A型號的勻膠機,具有低速起步和高速旋轉(zhuǎn)兩個單位。

 CIF生產(chǎn)的勻膠機,  采用閉環(huán)控制伺服電機,數(shù)字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長,保證勻膠的均一性。5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置),可選配10個可編程程序,每個程序下可設置10個勻膠梯度階段,z100個階段。內(nèi)置水平校準裝置,保證旋涂均勻,可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。多重安全保護:樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護,有效降低電機進膠的風險。一機兩用,根據(jù)


不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸堿防腐蝕,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。上下雙腔體設計,較大的上腔體便于擦拭去除膠液,錐形下腔體結(jié)構(gòu)設計便于收集膠液,并帶廢膠收集裝置。可選氮氣吹干、氮氣保護,自動滴膠或簡易滴膠裝置,提供多種的操作便利性。適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。


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